日前，由中國電子科技集團第13研究所研製的MEMS加速度傳感器突破了高精度SOI工藝加工、圓片級可調阻尼封裝、低功耗ASIC專用集成電路等關鍵技術，在國際招標項目中，一舉戰勝美國PCB公司和瑞士奇石樂等國際知名傳感器廠商。這是國產MEMS加速度傳感器首次在國際招標中獲勝，標誌著中國電科MEMS加速度傳感器已達到國際先進真人视讯产品水平。
　　

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　　MEMS加速度傳感器具備高精度、高分辨率（分辨率優於10μg）、低噪聲（13所2.5μg，國外同類真人视讯产品約5μg）、低功耗、低溫漂、抗過載和超小體積（體積是國外同類真人视讯产品1/4）、重量小於1.2克（國外同類真人视讯产品約10克）等技術特點，主要技術指標全麵超越國外同類真人视讯产品。

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